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半導(dǎo)體工藝中干式真空泵的種類


油式真空泵是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的真空泵種類,最主要的特點是真空度高,能滿足新型行業(yè)的特殊工藝要求,其中又以旋片式真空泵和往復(fù)式真空泵為主要代表。隨著時間的推移,社會的進步,它們在各種應(yīng)用中的表現(xiàn)越來越不能使人們感到滿意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等,因此,干式真空泵應(yīng)運而生。

在過去的十多年里,有好幾種不同類型的干式真空泵被設(shè)計和生產(chǎn)出來,它們在機械結(jié)構(gòu)設(shè)計上有明顯差異。因為這種差異,我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型:圓裂片式,爪式,組合式(羅茨+爪),螺桿式。當(dāng)今,這些類型被不同生產(chǎn)廠家所廣泛應(yīng)用。其中,圓裂片式,爪式和組合式(羅茨+爪)被稱為多級泵。因為它們的工作方式大致相同,都是利用多級真空腔對氣體進行反復(fù)的壓縮來產(chǎn)生真空。在多次反復(fù)壓縮的過程當(dāng)中,氣體的溫度和壓力也產(chǎn)生比較復(fù)雜的變化,因而比較容易引起氣體物理特性的變化。而螺桿式被稱為單級泵,因為它只靠一個真空腔來產(chǎn)生真空。根據(jù)其氣體壓縮方式的不同,又可將其分為內(nèi)部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵。
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