實驗室通常使用真空泵(Vacuum pump)來產(chǎn)生真空。由于從粗真空到極高真空壓力跨度高達十幾個數(shù)量級(Pa)，所以，實驗上要求不同的真空度時需要選擇不同種類的真空泵。要獲得高真空或超高真空，一般需用幾種泵的聯(lián)合組合使用才能達到。
真空泵按獲得真空的機理和方式可分為壓縮型的真空泵和吸附型真空泵兩大類。壓縮型泵(Compression pump) ,是將氣體由特定容器壓縮，然后排放至容器外。如水沖泵、機械泵、擴散泵、分子泵等。另一類是吸附型泵(Sorption pump) ,是依靠將特定空間的氣體分子吸附方式來降低壓力以獲得真空度。如鈦泵、低溫泵、吸附泵等。
機械泵和擴散泵價格低廉、抽氣速率很高，是實驗室最常用的真空泵，但它們都要用特種油作為工作物質(zhì)，因而對實驗對象有一定的污染。機械泵只能產(chǎn)生1~10-1Pa的低真空。擴散泵使用時必須用機械泵作為前級泵，可獲得10-1~10-7Pa的高真空或超高真空。隔膜泵、吸附泵和鈦泵都屬于無油類型泵，不存在油蒸氣的沾污問題，它們串級使用可獲得優(yōu)于10-6Pa的超高真空。分子泵是靠內(nèi)圓筒高速機械運動使氣體作定向流動，一般須與前級泵組合來獲得高真空。低溫泵是目前抽速最大、能達到極高真空的真空泵。
